¼Ò ¼Ó
| ÀüÀÚºÎÇ°¿¬±¸¿ø |
---|---|
¹ß¸íÀÚ
| ¹ÚÁØ½Ä |
±â¼úºÐ·ù
| |
Å°¿öµå
| ¸¶ÀÌÅ©·Î ±×¸®ÆÛ |
±â¼ú°³¿ä | ¸¶ÀÌÅ©·Î ±×¸®ÆÛ´Â MEMS±â¼úÀ» ÀÌ¿ëÇÏ¿© Á¤¹Ð Á¦Á¶ ¹× ¹ÙÀÌ¿ÀÀÇ·á »ê¾÷¿¡¼ ÃʼÒÇü ºÎÇ°µéÀ» °íÁ¤¹Ð Á¶¸³ ¹× À§Ä¡ Á¦¾îÇϰųª, ¼ö½Ê ¸¶ÀÌÅ©·Î¹ÌÅÍ Á¤µµÀÇ ¼¼Æ÷ ¹× ¹Ì»ý¹°µéÀ» Á¤¹Ð Á¶ÀÛÇÒ ¼ö ÀÖ´Â ±â±¸ÀÓ | ||
---|---|---|---|
±â¼úƯ¡ | |||
½ÃÀ嵿Çâ | |||
°³¹ßÇöȲ |