비대칭 바이폴라 펄스 DC 마그네트론 스퍼터링에 의한 TiAlN 코팅의 제조방법

소 속
목포대학교
발명자
전성용
기술분류
키워드
TiAlN 코팅
기술개요 듀티사이클 및 펄스 주파수를 조절하여 비대칭, 바이폴라 펄스 DC 마그네트론 스퍼터링법을 이용함으로써 미세결정립 크기가 작고 표면이 균일하도록 한 TiAlN 코팅기술임
기술특징
시장동향
개발현황