나노채널 제작방법

소 속
한국기계연구원
발명자
윤재성
기술분류
키워드
나노
기술개요 리소그래피 공정에서의 회절현상을 이용하여, 경사형 또는 탄환형의 내경이 형성되는 나노채널을 제작할 수 있는 나노채널 제작기술
기술특징
시장동향
개발현황