코팅된 웨이퍼를 1-메톡시-2-프로판올 아세테이트(PGMEA)가 담긴 유리 접시에 넣고 볼텍서(가장 낮은 설정) 위에 올려놓았습니다. 60초 후, 웨이퍼를 접시에서 꺼내 PGMEA로 헹군 다음, PGMEA가 담긴 다른 유리 접시로 옮겼습니다. 다시 60초간 천천히 볼텍싱한 후, 웨이퍼를 접시에서 꺼내 PGMEA로 헹구고 질소 건을 사용하여 즉시 건조했습니다. 패턴이 새겨진 웨이퍼와 질소 분위기가 있는 가열된(125°C) 챔버에 트리클로로( 1H ,1H , 2H , 2H- 퍼플 루오로옥틸) 실란 1~2방울을 피펫으로 떨어뜨려 항접착 코팅을 적용했습니다 . 30분 후, 챔버를 실온으로 냉각시키고 웨이퍼를 꺼냈습니다.